二手 NISSIN NH-20SR #9144958 待售

NISSIN NH-20SR是专门为高精度离子植入应用而设计的可靠高效的离子植入器和监控设备。该系统旨在有效、准确地监控植入物参数，自动控制工艺参数，准确测量植入硅片残留损伤等重要参数。NISSIN NH 20SR采用多模离子源，使其能够高效准确地植入从硼到高原子序数（Z）材料的不同材料，并包括离子光学控制，用于精确的光束操纵。单位的离子束扫描仪可以控制离子束的光斑大小，而不影响离子能量和剂量。NH-20SR具有任务计算机,允许自动数据采集、处理和存储,以实现高效操作。NH 20SR工具还配备了安全功能,以保护人员和敏感设备。它包括自动激光安全联锁和能量离子探测器.它还有一个活性的残留粒子离子监测器，以观察过程污染。NISSIN NH-20SR具有强大的自动化能力,能够提供植入参数的精确控制.这包括控制植入前离子束电流、植入前束能量、植入后束电流和植入后束能量的能力。该资产还可以监测植入剂量和模型精度。其中包括自动化测试功能,可提供有关流程质量的快速反馈。NISSIN NH 20SR的监控系统为植入过程参数提供准确可靠的监控。这包括测量光束能量和电流、光束位置、晶圆电流和电阻以及晶圆损坏的能力。也有专门的监测功能，如剂量依赖性反冲范围、剂量监测测试分析、束瞬态测试分析等。NH-20SR具有强大的数据存储和分析功能，包括植入物参数数据存储和批量数据存档。它还支持实时显示系统信息、图形测量和数据分析的数据分析和设备监控。总体而言，NH 20SR是在各种应用中进行离子植入和监测过程的高效、准确和可靠的单元。其先进的自动化功能、强大的监控功能以及强大的数据存储和分析功能,使其成为寻求精确控制和精确测量以满足植入需求的用户的绝佳选择。