二手 NISSIN NH-20SR #9226070 待售

NISSIN NH-20SR
ID: 9226070
晶圆大小: 6"
优质的: 1989
Medium current implanters, 6" 1989 vintage.
NISSIN NH-20SR Ion Implanter&Monitor是一种最先进的技术,用于将离子植入基材中。这种多用途、紧凑、可靠的机器为植入物提供精确的离子束成像以及精确的光束控制和工艺参数。有两个6轴控制器和高精度阴极电机,允许光滑,一步离子植入。NISSIN NH 20SR是一种非常耐用和可靠的离子植入器和监控器,设计在最具挑战性的条件下表现良好。它由可调腔室/气室、离子源、真空泵送设备、光束成形元件和控制系统组成。腔室/电池是一种耐氢化物的不锈钢衬里容器,能够在6 x 10-4 Torr的压力下运行。离子源是一种具有6个可调阴极眼元件的线性类型,允许优化离子束参数。它还包含一个由涡轮分子泵、一个旋转摆锤和一个门阀组成的真空泵送单元,该阀设计用于保持腔室内稳定的真空水平。NH-20SR还包括一个光束成形部分,该部分由可配置为正极或负极性植入的网格透镜以及可调整以微调离子束角度的聚焦透镜组成。控制机是一个三步可编程、用户友好的界面,用户可以根据所需的参数调整离子的植入。此外,还将实时监视器连接到该工具,以便实时监视流程参数。NH 20SR是任何需要精密离子注入的人的理想解决方桉。它是一种高度可靠和可调的资产,肯定有助于提高任何离子植入过程的效率和质量。耐用可靠的设计与直观的控制模型相结合,使这种离子植入器和监视器成为从事离子植入领域工作的人的宝贵工具。
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