二手 NISSIN NH-20SR8 #293642812 待售

NISSIN NH-20SR8是一种精密的离子植入器和监控设备，旨在提供精确、高质量的离子植入各种底物。该系统能够向大面积的固定、可变或溷合基板输送高电流和高剂量。它具有自动基板操纵器（ASM）,能够以不同的剂量范围和不同的光束速度植入不同能量的离子,以精确控制植入剖面。在性能方面，NH-20SR8具有较大的波束电流范围4-20mA，最大电压能力为300千伏。光束电流稳定时间为≤3毫秒，离子能量范围为0.01-200keV。该单元可以容纳多达6英寸的晶圆，也能够精确操纵基板以达到最佳效果。NISSIN NH-20SR8还与最先进的离子监测器集成在一起，可用于控制离子束轮廓，并能准确检测植入的离子。监视器精确测量植入离子的剂量和电流水平，并实时显示在监视器屏幕上。它也有预设的程序提供各种植入和监控选项。NH-20SR8坚固可靠，可精确控制植入过程。它具有内置的安全功能,具有防止机器在不安全的情况下不正确操作或损坏的锁定机制。此外,它还配备了PC/PLC接口,可轻松集成到工业自动化系统中。该工具还可以编程为连接到其他外部设备，如冷却器、真空泵和驱动器。总体而言,NISSIN NH-20SR8是一种功能强大且用途广泛的离子植入器和监控器.它具有先进的功能,可确保植入配置文件的精确控制和监控精度,并具有强大的安全性和集成功能。这使得它成为各种基材中、大批量生产的理想选择。