二手 NOVA GEPM 17 #9233716 待售
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NOVA GEPM 17是高科技产业的离子植入器和监控器。它旨在使正离子能够精确地植入硅半导体晶片等基板中。这为晶片提供了现代技术所必需的优良的电气特性。GEPM 17由几个组件组成，包括一个离子源、一个质谱仪、一个能量分析仪以及几个探测器。离子源产生一束离子束，这些离子束沿着加速度管向下加速。质谱仪然后分离和识别离子的种类和测量它们的能量分布。能量分析仪然后根据用户定义的参数控制和修改每个离子种类的动能。最后，探测器测量压力、电流和离子束发射速率。用户可以通过直观的软件界面配置NOVA GEPM 17的运行参数。这些参数包括离子的类型、其能量、总通量、光束形状、生产速率和持续时间、电源监控、压力监控以及其他高级设置。使用这些参数，用户可以精确地调整和控制任何复杂晶片的植入过程。GEPM 17还可以实时监控和记录流程数据。这样的数据包括系统的温度和压力、电极的电流读数和光束功率。这有助于用户进一步微调流程,直到达到最佳条件。此外，它还提供了每个植入步骤的日志，可用于进一步的分析和参考。总体而言，NOVA GEPM 17是一种高度先进、坚固可靠的离子植入溶液。其特点、监控能力和用户友好的软件为植入处理提供了一个全面和可访问的平台，使行业能够从其精确度和效率中受益。
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