二手 NOVA T500 #9233720 待售
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NOVA T500是一种先进的离子植入器和显示器,用于制造集成电路.它能够高速注入离子，这对于集成电路的制造是必不可少的。它使用通过真空室的高电压（HV）离子束，产生一个被引导到晶片上的离子束。然后将离子束聚焦到单个基板上。T500利用可编程控制设备优化离子植入过程的效率。NOVA T500利用扫描系统，通过扫描源和目标来控制离子束；这样可以将梁精确地引导到基板上的不同位置。此外,还加入了一个反馈单元来监视和控制梁参数,如梁的大小、形状、能量和电流。这样可以确保光束正确聚焦,以便在基板上进行精确的材料沉积。T500还具有一个多区域腔室，它允许不同的植入剂量在基质上的多个位置。这样可以在整个基板表面进行微调和均匀的材料沉积。此外，NOVA T500配备了一个先进的电离室，在植入过程之前提供离子源的完全电离。这样可以使离子束在参数上更加均匀性和准确性。T500还配备了专门的监控机器，用于监控波束参数和工艺环境，以便检测任何变化或异常。此外,还使用实时诊断工具检测NOVA T500操作中的任何问题。这确保了整个植入过程的最大效率和可靠性。T500由于其优越的性能、精确度和可靠性，是集成电路制造的理想选择。它为高精度、均匀性的离子植入提供了强大可靠的平台。此外，其专用的监控资产确保了植入过程的准确和高效进行，提供了最佳效果。
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