二手 PVA TEPLA Evolution II Twin #293605828 待售

PVA TEPLA Evolution II Twin是一款最先进的离子植入器和监视器。提供卓越的可靠性、高生产吞吐量、高质量的植入和监控。其高功率激光二极管技术提供高效有效的粒子处理。Evolution II Twin的模块化设计允许操作员将其配置为将特定类型的离子植入半导体晶圆中。它包括一个低能调制离子源、一个高能调制离子源和一个脉冲离子源。低能可调制离子源提供了调节离子能量和类型的能力，并提供了能量、脉冲持续时间和调制能力可变的同位素和离子的选择。高能调制离子源使操作员能够在植入过程中改变离子能量和类型，并提供一系列高能离子，从而能够使用高速离子进行操作。脉冲离子源提供了准确快速地植入特定类型离子的能力。它能够以广泛的脉冲持续时间和能量植入，允许高通量的操作与精密植入物。PVA TEPLA Evolution II Twin的自动化光束传输设备使用精密的计算机控制的机电执行器，快速准确地将离子从源头输送到植入区。它包括三个独立的平行路径，每个路径都有自己的光束监测系统，能够在植入过程中同时监测每个光束。Evolution II Twin的另一个关键特点是其先进的冷却单元，它去除了植入过程中产生的热量，以维持最佳的植入条件，并确保可靠的结果。该冷却机采用水冷门工具，以确保无与伦比的冷却稳定性。PVA TEPLA Evolution II Twin还设有诊断监视器，使操作员能够不断检查植入的准确性。此外,它还能够通过其以太网接口执行放射性测量和向其他计算机广播过程数据。总之，Evolution II Twin是一款高性能的离子植入器和监视器。其模块化设计和特性阵列使操作员能够准确控制用于植入的能量和离子类型，从而实现优越的晶圆质量。强大的冷却设备可确保最佳植入温度,而强大的诊断和以太网接口可确保可靠性和安全性。