二手 PVA TEPLA Evolution II Twin #9354499 待售

PVA TEPLA Evolution II Twin是一款先进的双束离子植入器和监视器。这种最先进的工具为离子植入、监测和控制提供了先进的技术能力。PVA TEPLA Evolution Twin拥有全尺寸8"端站和6"侧站，提供了更大的灵活性和吞吐量。大功率监视站允许精确的过程控制。此外，先进的光束对准设备确保了高精度的能量、电流和侧面轮廓控制。这样就减少了颗粒堆积，减少了表面污染，从而提高了整体工艺质量，减少了机器停机时间。Evolution II Twin利用具有可互换插件的高级梁线,允许您配置系统以获得最佳性能。光束线设计灵活，额定高剂量率，并结合专有的线性扫描和分割技术。它还具有快速变化的离子源和健壮的源持有者，可以在几分钟内互换源。先进的材料和设备监控单元通过实时光束电流报告以及自动光束离线检测和错误报告为您提供质量保证和过程控制。其他功能还包括集成的偏置调谐机，用于晶圆级的高精度可控性，以及直接监控离子能量和光束强度的实时溅射监视器。PVA TEPLA Evolution II Twin有一个直观的用户界面，设计有用于优化设备和流程监控的高级警报和诊断，以及用于追踪和流程执行记录的集成数据记录工具。简单易用的高级软件提供了简单的参数操作和增强的流程可重复性。总体而言,Evolution II Twin是一款功能强大的工具,专为实现灵活性而设计,并优化了流程质量、吞吐量和可靠性。凭借先进的离子输送资产、集成的监控、直观的用户界面，它是市场上领先的离子植入器和监控器之一。