二手 SEN NV-10SD-160 #9181751 待售

SEN NV-10SD-160是岛津公司开发制造的用于半导体应用的离子植入器和显示器。它是一种高度通用、经济高效且直观的设备,在植入时提供卓越的性能。NV-10SD-160利用可变能量剥离（VES）技术通过广泛的目标实现均匀的植入物轮廓。一旦确定了目标材料，就可以设置一个优化的充电序列，以优化所需最大剂量的转移效率。该系统还具有六轴对准和补偿单元，可以在所有植入物角度产生高度均匀的植入物。此外，该机器还配备了在线植入后诊断，使用户能够监测植入的低能量稳定性。该工具的最大效率为160 keV,三级加速电压为12、42和160 keV。每个阶段的俯仰角可由0调整至90度，以容纳不同方向的植入物。机械光束聚焦功能允许随时优化光束性能,光束散度小于0.1 mrad。凭借紧凑的模块化设计和高功率功能,SEN NV-10SD-160无需占用大量空间即可轻松安装。该资产提供冷却能力，以防止过热和热产生的离子植入工件。该型号还装有真空进料系统，可实现较高的生产率，以及真空设备，能够保持高于10-7 Torr的真空水平。此外，该系统还配备了先进的晶片处理程序，提供快速、准确的晶片定位，以及最佳晶片吞吐量。NV-10SD-160还与广泛的IC测试仪和电子显微镜兼容，使其容易融入更广泛的生产线。总体而言,SEN NV-10SD-160是一种功能强大且用途广泛的离子植入器和监控器,在植入高精度和高产半导体器件方面具有极好的稳定性、可控性和准确性。