二手 SEN NV-10SD-80 #9181750 待售

SEN NV-10SD-80
ID: 9181750
High current implanter, 6".
SEN NV-10SD-80是一种最先进的离子植入器和显示器,旨在为高精度离子植入提供高效可靠的解决方桉。它具有四个植入离子源,主要来源是一个四极离子源,最大电流为8mA,可用于浅角度植入高达80 keV的范围。该设备还具有二次源,即电流为1mA的三极管离子源,以及另外两个RF型离子源。NV-10SD-80能够对离子束的剂量和参数进行高速扫描和编程,还能提供束电流、能量和剂量的闭环反馈。利用3轴真空机械手,方便样品装卸。此外,SEN NV-10SD-80还配备了数字显示器,可实时控制植入过程。该监视器为操作员配置植入参数以及监视和控制离子束电流、能量和剂量参数提供了一个用户友好的界面。它还有一个内置的安全系统,允许安全和可靠的实施过程。NV-10SD-80的集成精密编码器和基于微处理器的控制系统保证了高精度和剂量精度。它还具有一个温度控制的离子源室和一个低真空室的样品持有者。此外,该设备还配备了高速自动数据采集和分析系统,可以为每个样本生成详细的结果。SEN NV-10SD-80专为电子、半导体制造和其他工业工艺领域的广泛应用而设计。可用于进行各种植入过程,如基质级掺杂、薄膜沉积、界面层、表面处理等。总体而言,NV-10SD-80是一种高效可靠的离子植入器和监控器,为成功的实施过程提供了所需的精确度和准确性。
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