二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS Disk for NV GSD-HE #293649983 待售

ID: 293649983
晶圆大小: 8"
8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS Disk for NV GSD-HE (GSD-HE)是一种离子植入器和显示器,设计用于大容量材料处理。它用于沉积和监测雾化粒子的各种应用,包括半导体制造、微电子器件生产和离子注入。GSD-HE具有先进的电阻反馈型离子植入器,由于其优化的设备设计,实现了极高的精度运行。该系统使用J形离子源快速、准确和高效地植入材料,无论其大小、形状或异质性如何。GSD-HE还采用先进的基板支撑,提供三维基板控制,以及高分辨率的"窗口"监视器,允许用户观察离子束随时间的偏转。GSD-HE还具有高性能的光学探测器,能够对被植入或沉积的材料进行极其精确的测量和控制。该探测器由一台高分辨率CCD摄像机组成,并配有一个用于监测离子束形状及其对比度的防真空光学快门。该单元还集成了高精度压力传感器,允许高度精确的气流控制,提供更高效的运行和提高吞吐量。此外,机器还有一个热成像设备,用于精确确定刀具的温度,从而提高其稳定性。GSD-HE具有创新的3D刀具,可实现复杂的地形结构(如3D凸起模式),并具有微掩模分辨率。这是该资产的一个独特特点,使其能够在多个层面上高效处理需要不同植入材料的大体积多层材料。在操作中,3D刀具沿X、Y和Z轴移动目标基板,可以精确调整每个植入层的深度和形状。此外,该器件还能精确处理微电子器件组装中使用的微小部件,这对高精度材料加工具有重要的参考价值。GSD-HE具有非常大的控制和数据处理能力,适合大容量物料加工和复杂的地形结构。它具有功能强大的64位CPU,为高速、高精度的数据处理提供了超过20.5 tera的处理能力(TOPS)以及高速随机存取存储器(RAM)和16 GB的闪存。此高效型号还具有以太网端口、IEEE1394和两个USB端口,可连接到Internet和其他外部设备,从而实现高效的数据通信、信息传输和存储。总体而言,SEN Disk for NV GSD-HE是一种独特的高级离子植入器和监视器,可实现高度精确和复杂的材料过程,如3D凸起模式和微电子设备装配。其高精度、高通量的设备设计,使其成为大型材料加工应用的绝佳选择,让用户获得异常准确可靠的效果。
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