二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-10SD-80 #293748706 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-10SD-80是为集成电路生产而设计的高级离子植入器和显示器。它是一种可靠、高性能的设备，生产高精细、精密的微芯片植入物。植入器和监视器一起操作以确保最佳性能，使设备能够执行准确、重复的植入物操作。SEN NV-10SD-80使用10英寸符合SEMI标准的高级I-Type源,它提供从70keV到80keV的一系列植入离子能量。该光源还采用了先进的光束光栅扫描技术，允许在优化工艺时间的同时将离子精确地放置到基板中。综合光束监测系统进一步确保了所有基板的均匀性，而数字运动控制单元则以最小的加速度和减速时间提供光滑运动和精确的光束控制。AXCELIS NV-10SD-80具有变形晶状体系统，可产生高度均匀的植入物，并能高度控制植入物的剂量和大小。该装置还配备了法拉第杯，精确收集和测量植入离子的电流，允许大量精确的植入处理。此外，SUMITOMO EATON NOVA NV-10SD-80利用高频射频偏置机，确保整个基材的掺杂浓度均匀。为了进一步确保精度,NV-10SD-80有位置传感器和激光引导系统.位置感应器准确确定源相对于基板的确切位置，而引导激光系统则确保植入物位置不断受到监控。该装置还配备了过程监测器，可持续监测植入离子的剂量、能量和范围，以防止植入损伤和过度植入等过程问题。SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-10SD-80是一种功能强大的离子植入器和监控器,设计为既可靠又高效。其先进的I-Type源、变形镜片工具和高度先进的监控功能，使其能够生产精确调谐的植入物，同时确保可靠和均匀的基底植入。此外，其包含的位置传感器和导引激光系统可以提供准确的性能，而其工艺监测器可以防止潜在的问题。这使得它成为集成电路生产的理想选择。