二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293636198 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80是一种高效、精确的离子植入器和监控器。它旨在使半导体器件的制造简单、准确。SEN NV-GSD-80基于两个基本过程：光束扫描和旋转.第一个过程，光束扫描，用于将离子植入晶片，而第二个过程，旋转，用于旋转晶片和保持均匀覆盖在基板上。AXCELIS NV-GSD-80构建的光束直径范围很广,从20mm到1150 mm不等。这样可以精确控制植入颗粒的剂量速率和角度范围。这样可以确保实现所需的植入,而不会对基板造成任何损害。NV-GSD-80配有一个电源，可以容纳多达120kV人。发电机能够产生高电压，达到高达2A的峰值电流。这允许精确植入各种离子，如磷、硼、碳和氧。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80的监视器设计用于连续监控输送到晶圆的剂量和电流。它有两个主要组成部分：脉冲计时器和光电倍增管.脉冲计时器产生连续的数字信号，提供光束强度场和基板上任意位置的剂量信息。光电倍增管检测在离子注入过程中产生的光脉冲。收集和分析这些信息，提供关于植入过程的反馈。SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80旨在提供高质量的植入而不会对基质造成任何损害。这是通过利用其强大的电源、光束扫描和旋转过程以及精确监测的剂量和电流传递来实现的。SEN NV-GSD-80也易于使用，并允许植入过程的精确构象。这一切使得它成为制造半导体器件的理想选择。