二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9245969 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是一款高级离子植入器和显示器设备，设计用于高端半导体晶圆加工。它为超高端产品提供高精度植入和高效监控功能。GSD-HE离子植入器设计小巧但功能极强，可提供高精度植入低电阻率基板。它配备了一系列专有技术,包括自动调平、精确的周转速率,以及提供最佳晶圆吞吐量的自动化过程监控。其先进的真空排气系统能够在操作员干预最少的情况下长期工作。它的三维扫描和优化功能允许微调精密植入任何表面上。GSD-HE可用于各种植入需求，从深度和预集中植入物到浅层和外围植入物。也可用于超低电阻层的形成和低热扩散的均匀掺杂。其先进的电离方法使得即使采用复杂复杂的几何形状也能达到惊人的工艺产量和质量。GSD-HE监控系统设计用于高精度、高精度地测量剂量、离子电流、束大小和位置、粒子能量、粒子进料速率等工艺参数。连续监测植入物和晶体管特性，为植入物和监视器的正常运行提供反馈。这样可以确保最佳处理性能和晶圆质量。GSD-HE的精密温度控制器旨在确保植入物温度永远不会超过建议值，从而最大限度地降低与过温植入相关的问题风险。其独特的柱头磁性透镜能够以最小的像差实现精确的成像，确保准确的植入深度和正确的光束大小对准。GSD-HE是一款非常先进的植入器和监视器，它为超高端晶片提供精确的植入物和高效的监控。其集成的技术相结合,使流程比以往任何时候都更快、更流畅、更高效。