二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80 #9269133 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80是一款先进的电气离子植入器和显示器,主要为商业半导体行业设计。这种先进的工具由SEN/Sumitomo-Eaton生产，广泛用于将各种离子植入基质中。该装置有助于创建一个具有高分辨率离子注入的原子定义的底物。SEN NV 10-80利用带有400-kV RFQ超导体的静电加速器，将离子加速到10-80 KeV的能量范围。该装置具有双离子束源，允许基于多种材料的批处理模式植入。该装置由倒4象限磁铁电源供电，以提高等离子体稳定性。此外,该设备还具有用于扫描和安装基板的定位器。SUMITOMO EATON NOVA NV-1080针对半导体行业中的各种设置进行了优化,例如光束轮廓、半径和角度。光束电流可以用功率脉冲源控制，并且是可调的，以允许有效的离子注入基板。阳极采用可变调节设计，能够控制离子束能量和电流。该设备在植入过程中支持广泛的主动和被动监控。例如，该装置具有激光测量、光束电流校准、阳极调节、电子倍增器等功能。原位监视器允许实时显示离子注入参数，并在发生波动时调整参数。除了监测植入过程外,SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-1080还提供光束电流调节、电压校准和数据存储等功能。集成的数据存储功能使用户能够存储和查看植入数据以进行进一步分析。总之，NV-1080是一种主要为商业半导体工业设计的先进的电子离子植入器和显示器。这种装置能够提供高分辨率的离子植入与可调能级，电流，位置，和更多的。此外，该设备在植入过程中提供了一系列主动和被动监控，从而能够实时监控植入参数。最后，集成的数据存储功能为用户提供了存储和查看植入数据的能力。