二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9144963 待售

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80
ID: 9144963
晶圆大小: 6"
Implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80是一种离子植入器和监控设备。它主要用于设备制造的半导体制造过程,被认为是集成电路生产管道的重要工具。具体来说,该装置控制一个电压电位的传递到一个底物,使受控数量的掺杂离子可以植入到底物的表面。因此,可以更改设备的电气特性,并且通过添加处理层,可以提高设备功能的完整性。在硬件方面,SEN NV GSD-80离子植入器和监控系统由一个电子源、一个枪能量器、一个加速器、一个引导和转向组件、一个控制器以及一个分析和测量单元组成。电子源是一种小电子束,能够通过轰击底物材料产生大量离子。枪的增能器用于控制电子束的方向和强度。接着是加速器,它有助于将离子推向底物。导轨和转向组件负责通过机电操作控制和引导离子轨迹,而控制器负责监督设备的整体运行。最后,采用示波器和电压测量等多种方法对离子植入质量进行监测。在控制和操作方面,住友EATON NOVA NV GSD 80离子植入器和监控器高度可定制,易于使用。它的用户界面设计方便,允许快速调用参数调整和配方管理,这使得操作这个工具的微风。此外,它还具有自动晶圆处理资产以及确保总体性能优化的自检模型。最后,它还支持实时状态监控,并具有用于快速故障排除和软件修补程序的集成故障诊断设备。总体而言,SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80离子植入器和监控器是一个可靠的系统,能够在高精度水平上进行精确的离子植入。它是一种经济高效的装置,旨在提供对离子注入过程的终极控制。凭借其功能和方便的特点,这一单元是半导体制造方面的一个宝贵工具,目前被视为行业领先的技术。
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