二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9268769 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80是一种离子植入器和监控设备，设计用于涉及离子植入半导体、陶瓷和玻璃等材料中的应用。它具有极高的精度和性能，适用于需要持续监控和精确控制亚微米特性的应用。系统利用离子源产生带电原子或分子，然后通过电场将其植入材料中，从而形成微观特征。接下来是监测过程，使用电子显微镜和其他仪器测量亚微米特征。然后利用这些数据来调整植入参数并优化其性能。SEN NV GSD-80具有高性能离子植入器，最大光束电流为80mA，固定光束能量为2.5keV。它包括一个X-Y机械手，可以用来独立调整沿两个轴的光束。它还有一个自动晶圆传输单元，用于定位和加载晶圆。机器的监控单元有一系列仪器和传感器，用于测量和监控植入过程的结果。它拥有检查亚微米特征的电子显微镜工具，以及多个探测器，包括法拉第杯、光电二极管探测器和撞击电离探测器。它还具有光束控制资产，可用于调节光束电流、光束尺寸和光束位置，以优化植入过程的结果。该模型还包括用于分析植入前后材料元素和同位素的粒子质谱仪。它还包括用于分析材料组成及其他化学和物理性质的能量色散光谱仪。设备配备了数字控制单元，可以让用户调整光束电流、植入深度、光束能量等各种参数。它还有一个网络接口，用于连接计算机和其他网络，从而实现对系统的远程访问和控制。总体而言，SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80是一款先进的装置，设计用于在材料中植入离子，精度高，性能高。它具有高性能的离子植入器、电子显微镜，以及多台用于监测植入过程结果的探测器和传感器。它还有一个用于调整各种参数的数字控制单元，以及一个能够实现远程访问和控制的网络接口。