二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081 待售
网址复制成功！
单击可缩放
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80是一种高性能的离子植入器和监视器。它旨在提供最佳的过程控制和功能强大的软件，以确保最高的植入精度，可重现和均匀性。它有一个带水平轴的锁载室，允许用机器人机械手装卸多达4个晶圆。此外，它还配备了两个独立的腔室，以实现高能和低能的植入。SEN NV-GSD-A-80具有三轴扫描系统,由X轴、Y轴和Z轴组成,可提供精确的光束分布和剂量控制,从而能够高精度地植入超细图桉。它配备了一个可移动的光束轴，可以方便地调整不同植入过程的光束位置。扫描系统还装有高温加热器，样品可安装在该加热器上加热至1000 °C。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80配备了几个监控系统，以确保植入过程按照具体要求进行。这包括一个法拉第出口探测器，一个法拉第杯传感器，一个石英晶体微平衡，一个离子平衡监测仪和一个X射线bremsstrahlung辐射。NV-GSD-A-80还拥有一个先进的软件，具有用户友好的界面，用户可以实时控制和监控植入过程。软件包含许多功能,例如设置、监视和控制过程参数、设置和监视高级材料分析、访问配方文件和召回功能。最后，SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80是一种先进的离子植入器和监控器，提供最先进的过程控制和分析能力。锁载室、3轴扫描系统和多个监控系统，再加上受控软件，让用户能够根据自己的需求，灵活调整和监控植入过程。
还没有评论