二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3 #9131090 待售

SEN NV-GDS-HC3是SUMITOMO EATON NOVA Corporation开发的三轴离子植入器和显示器。它旨在将离子精确地植入和监测到半导体材料中。NV-GDS-HC3的离子束源由能够形成宽离子束或分离离子束用于多束注入的多束离子枪组成。多束形成由电子枪、分离入口质谱和离子加速度组成。离子枪设计为供应具有优异半导体特性的高浓度纯离子束。该NV-GDS-HC3配有多区再循环质量过滤器设备，用于从离子源分离所需离子。循环质量过滤器系统由分离离子能量和电荷的气体质量过滤器和清除污染物和不良元素的循环质量过滤器组成。为了准确监测离子植入过程，NV-GDS-HC3的传感单元测量植入位置、离子种类和离子浓度。利用光学监测技术确定植入目标的高精度三维参数。此外，机器还配备了记录所有植入和监控数据的数据记录功能，用于分析和记录保存。该NV-GDS-HC3还采用了光束限制器工具（BLS），可以精确控制离子束的光束宽度、形状和电势，以优化其均匀性，提高效率。BLS允许用户在过程中调整梁的参数以提高精度。NV-GDS-HC3的Center Drive Asset向任何方向提供高分辨率对称运动,允许用户植入与其他植入系统相比需要更高精度的复杂模式。该模型还允许2mC/cm的最大双极输出，适用于大量集成电路的广域植入物。综上所述，SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GDS-HC3是一种三轴离子植入器和显示器，设计用于半导体工业，用于精确植入和监测。多束离子枪、质量滤波器设备、传感系统、光束限制器单元、中心驱动机为最苛刻的植入要求提供了综合解决方桉。