二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #293603723 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE是住友公司製造的离子植入器和监视器。它是一种成本昂贵、高端、多束离子植入器,能够输送多束电流至2mA（具有两组分离的光束源以实现高通量能力）和最大能量至60keV。该模型提供均匀的掺杂分布和出色的控制，以允许精确的深度和位置控制植入物剂量。它配备了6轴运动控制设备和扫描光束电流监视器，可以检测到光束电流的小异常和变化。SEN NV GSD-HE植入器具有独特的电子枪设计,具有提供均匀离子束轮廓的"多面"镜面系统、即使改变撞击角也能保持光束方向精确控制的"扇形"光束转向器和自动"光束有效性检查器",可防止随机粒子进入光束线。利用离子枪的自稳特性和精确的光束线控制，这些先进的单元参数为精确的剂量控制和精确的位置控制提供了极可重复的过程。植入过程是自动化的，由一台精密的实时计算机控制；软件功能管理所有植入记录和程序参数,用于操作和维护。此外，整个过程中的监测工作是由植入室内的众多探测器和外部探测器联合完成的，两者都与先进的计算机控制工具相连接。此外，该资产还包括一个专用粒子加速器，以确保具有高度稳定和均匀光束的一流结果。利用其六极离子光学器件和光束参数的数字控制，保证了模型的离子控制方法和能量稳定性，即使相应的工艺要求变化。为了确保植入物的可持续性和保证植入物的最高质量，SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE离子植入物已被全球工业咨询委员会按照国际标准进行了广泛的测试和认证。NV GSD HE植入器具有卓越的吞吐量、高生产率和高精度,具有先进的计算机控制设备,具有优化的光束对准和量身定制的软件。它还提供了出色的可重复性和操作可靠性,允许长期使用,降低了每个流程周期的成本。