二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE #9181516 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE是一种离子植入器和监控设备，设计用于控制和监测离子植入过程的特性。该系统具有先进的工艺控制能力，能够达到晶圆均匀性、最高产量、产品质量和可靠性的最高水平。该设备还提供了完全集成的解决方桉,用于保持晶圆温度均匀性、最大程度地减少热损坏和防止电路板损坏。机器由植入器、显示器和控制器组成。植入器是工具的主要部件，由离子源、束形成单元、目标和植入器基座组成。它提供了必要的离子束，有助于达到晶圆植入所需的特性。监控单元由高灵敏度传感器组成，测量离子束强度、电压和电流值，并允许精确控制植入过程。最后，控制器为整个资产提供过程自动操作所需的控制信号。该模型能够进行各种植入过程，包括硼、砷、磷、硅、氙、铝、的植入。此外，它可以同时用于单步和多步植入过程，使多个离子物种同时植入到同一晶圆中。此外，该设备还可用于Trench和Near-Field植入物。SEN NV-GSD-LE配有集成的温度控制系统，有助于确保晶圆均匀性，最大限度地减少热损伤。由于其高精度（± 3°C）和不同温度控制设置的可用性，它非常适合植入基于Si和非基于Si的材料。此外，该装置还能够控制粒子的加速和减速，并提供必要的初步化学过程。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE还具有多种安全措施，有助于确保安全的工作环境。这包括在发生任何异常时紧急关闭开关，以及确保植入过程以低噪音进行的气密隔音室。最后，NV-GSD-LE提供了一系列自动化和控制离子植入和监测过程的功能。通过提供高精度、短周期时间和精确监控,该机器是广泛应用的理想解决方桉。