二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3 #9144965 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3是用于先进半导体加工的离子植入器和监控设备。它专为低电流、高分辨率植入而设计，可根据各种工艺步骤和离子源的需要量身定制。该系统集成了温度和压力控制、能量调制、光束阻塞、电流集成等多项功能，确保了最佳工艺效果。SEN NV-GSD-MC3是一种具有70厘米控制室的20厘米铸币源离子植入物，允许广泛的植入参数和实施技术。可用于创建浅结和深结植入，以及提供低电流的高分辨率植入。该单元包括一个数字离子监测器，以确保准确的剂量和离子的遏制。除了能够创造广泛的植入参数和技术外，该机还配备了高压电源、集成的质量流控制器以及温压控制工具。这允许了最高的过程稳定性和准确性，以及最佳的植入植入过程。由于采用了各种光束阻断技术，如光束分裂或散射，保持了晶圆之间的高均匀性和可控能量分布。资产还使用先进算法控制等离子体中的气体均匀温度分布，有助于提高过程稳定性和生产率。此外，该模型还能够整合来自多个来源的电流，以及用数字离子监测器监测和分析植入光束。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-MC3是一种先进的植入设备，旨在提供先进的植入性能和控制。适用于多种应用，包括浅、深结植入，以及低电流高分辨率植入。该系统以各种光束阻挡技术、温度和压力控制以及电流集成等方式设计，以提供最佳的过程稳定性和精度。