二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148222 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180是一种用于半导体加工的高端离子植入器和监控器。该设备具有光学和电子设备的独特组合，可实现精确植入和减少材料的热干扰。该系统配备了先进的软硬件组件，使其在运行过程中达到超高精度。SEN NV-GSDIII-180利用高分辨率光束位置监测器（HRBPM）技术进行定量、准确的植入和监测。利用该监视器，该装置能够精确控制植入能量水平、目标速度和剂量率，确保高分辨率和可重复精度。机器还配备了二次电子检测器（SED），允许详细数据收集不同材料对离子注入的反应。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180通过包含图形植入工具（GIS）的图形用户界面（GUI）进行控制。这个GIS允许操作员预设离子种类、速度、束电流等变量来调整植入。其他功能包括计算机化的图书馆搜索、诊断监视器、数据收集、监视器数据记录、直方图输出和各种预设动力学参数。该资产有能力植入各种材料，如硅、砷、硅碳酸盐、​​的。它还支持多种配置，包括单晶片、多晶片、批次、双面和多级植入。NV GSDIII 180采用坚固的不锈钢结构,并具有冷却风扇,以确保模型的一致运行。它配备了多项安全功能，包括令牌环互锁设备、光束转储和集成的射频屏蔽，以确保操作员的安全。该系统还具有许多在线数据分析选项,如辐射分析实用程序或网络接口终端。为了进一步确保质量和一致性，SEN NV GSDIII 180配备了故障安全观察装置，防止渗入碎片堆积，并保持腔室清洁。此外，先进的真空密封监测机可以对工具中的真空压力进行精确的监控。NV-GSDIII-180是一种最先进的离子植入器和监控器，能够提供高度精确和可重复的植入和监测。它配备了包括高分辨率束位置监控器、二次电子检测器、计算机化库搜索和图形植入资产在内的多种功能。此外，其坚固的结构和安全特性保证了模型的可靠运行。