二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9244723 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180是为晶圆级掺杂而设计的离子植入器和显示器。它为各种基材材料提供精确、可重复的离子植入参数。SEN NV-GSDIII-180包括一个计算机控制的离子源、两个独立的枪线控制、一个集成的监控设备和一个高真空系统。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180利用电脑化离子源，可以产生具有最佳截面大小和形状的高精度离子束。离子源能够扫描晶片的各个区域。它还可以即时脉冲不同的光束区域，以实现最佳的植入。两条独立的枪线提供了对植入过程的精确控制。这些线条可以针对各种参数进行调整，包括斑点大小和能量，以及基板温度。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180的集成监控单元在植入晶圆时提供光束轮廓和光束能量的实时反馈。这台机器还允许用户在流程发生时进行监控,从而确保最佳性能。高真空工具在离子注入过程中提供了优越的腔室稳定性。此资产旨在维持小于1 x 10-6 Torr的真空。它还可以防止植入过程中室内的任何污染或退化。NV GSDIII 180是晶圆级掺杂的理想解决方桉。其计算机控制的离子源、两条独立的枪线、集成的监控器模型和高真空设备使其成为创建精确、可重复离子植入参数的理想解决方桉。客户可以对SEN NV GSDIII 180的离子植入器和显示器的准确性、精确度和可重复性充满信心。