二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #293764347 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90是一种离子植入器和监控设备，旨在提供高度可靠和准确的植入。它能够进行各种各样的植入，使其成为任何植入过程的通用工具。SEN NV GSDIII-90的第一个成分是离子源。它是一种具有可变温度特征的自我翻新、中等能源。该源在1-60 kV的恒定电压下工作，频率范围为0.02-25 MHz。它能够产生高达85 mA的光束电流和高达15 keV的能量束。该源包括一个可调节的源室和狭缝孔径门，使其能够产生广泛的离子种类和束电流。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90的第二个主要成分是植入器系统。它旨在为植入过程提供精确、高分辨率的控制。植入器单元配有电容器和定时机，用于对光束电流、剂量、调制模式等植入参数进行详细的时间控制。它还包括剂量监测仪和光束电流监测仪，用于精确控制植入过程中的剂量和电流水平。NV GSD III 90的第三个主要部件是监控工具。该资产用于实时计算和显示植入参数。它包括计算机、显示器和特殊软件。它能够分析植入数据并以图形格式显示，使得可视化和调整植入参数变得更加容易。NV GSDIII 90的第四个也是最后一个元件是扫描模型。这种设备可以让用户快速准确地扫描各种基材。扫描系统包括多轴扫描头,以及用于生成各种扫描模式的硬件和软件。它能够以0.005微米的分辨率扫描多达8英寸的基板。总体而言,SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90是一个高度先进的离子植入器和监控器.它提供了可靠和精确的植入过程，以及在过程中对参数的详细监控。该机器非常适合用于先进的植入过程和实验室。