二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9144805 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90是一种先进的离子植入器和监视器，用于将离子植入基板中以创建半导体器件。利用粒子加速的最佳方法，这种装置能够将离子加速到每电荷200 keV（200,000 eV）的速度。这有助于它以最高的精度提供高剂量的离子。该设备以其高处理速度而闻名，因为它可以以更高的重复率植入离子，从而提高生产率，并以更高的精度更好地定义特征大小。它有一个室内热快门系统，提供极好的剂量均匀性。这有助于改进设备控制和降低离子损伤的实例。该装置采用了一种新的高速特征提取和电离（HFEXI）技术，可以提高离子植入性能，并最大限度地减少热积累和离子范围扩散。这有助于提供高度受控剂量的离子并改善最终结果。该装置能够控制多达8个双极电极，同时考虑到多电极系统中的电子-电子相互作用。这使得设备能够提供更好的植入速度和更好的质量离子。该设备还提供了自动模式、程序生成、慢跑模式、数据记录器、事件记录器、剂量监视器、时钟、OCR编码功能、遥控、远程文件传输、配方管理和电源中断等多种功能。所有这些功能有助于提供易于使用、可靠和准确的植入性能。该装置具有三向联锁系统、故障报警和紧急停车等几个安全特点，以增加安全性。这样可以监控并保持植入器的最佳功能。SEN NV GSDIII-90植入物和监视器以其高性能和可靠性获得了无数奖项，如最佳奖。它也是各种应用经济高效、高性能植入的绝佳选择。它为广泛的植入操作提供了一个优秀可靠的平台。