二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9181903 待售

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90离子植入器是一种高性能设备，用于以精确的深度和宽度轮廓将各种离子精确植入基板。它被设计用来处理一系列的底物，如硅、移植物、砷化氙和金刚石。SEN NV GSDIII-90可以容纳广泛的离子种类，从质子到锂。它也能在不同温度下植入离子。该植入器采用单光束线真空设备，具有2级机械真空减速器。这种减速器使离子能够以受控的速率通过系统，也防止它们扩散到目标基板上。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90具有高精度的聚焦和扫描单元。这台机器使设备能够在整个植入过程中保持稳态光束强度和聚焦。该工具还使其能够提供均匀的离子植入深度剖面，也能在晶圆面上加工均匀剂量的扁平基板。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90配备了增强的离子植入监测资产，提高了其准确性。模型的操作由车载计算机监控，该计算机跟踪操作参数，如离子电流、电压、停留时间和光束能量。这种监测设备还有助于在植入物相关异常影响晶片质量和工艺产量之前进行检测和隔离。该计算机还可用于存储植入数据以进行进一步分析。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90是一种高度可靠的自监测离子植入物和监测器。它具有安全机制，以减少因高放射性而发生事故和故障的风险。该设备经过了安全性、准确性和可靠性的彻底测试,以确保能够提供一致的高质量结果。