二手 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-LE #293746345 待售
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ID: 293746345
High current ion implanter
CTI-CRYOGENICS Cryo-10 Cryopump
SUZUKI SHOKAN Compressor
RWA-012J-BE07CBD Chiller
Moving type: Disk type
End station
Analyzer
Power rack
Source terminal
Chiller
Compressor
Transformer
Power box
Disk flow switch panel
Main water panel
Controller
Power supply
Helium Hose
Cable
Utility rack
Hood cover
Accessories
Gas box
(3) SMIF
Bottom plate
Monitor rack
PC.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-LE（GSD3-LE）是住友电气和伊顿公司最近开发的一种高级离子植入器和显示器。该设备最适合高精度、低水平的植入过程。它利用了复杂的先进技术，如多网格成分加速度、光束控制和最先进的离子光学。GSD3-LE的多功能性使其非常适合SEMI规格配置文件、植入物工艺开发和生产、先进的植入物工艺控制、超精确植入等多种应用。利用一个专门设计的离子源，它可以达到光束能量高达30KV。该源也可以使用Ar或SF6气体操作，以最大程度地减少源停机维护。该GSD3-LE使植入物种类繁多，精度低，光束控制可靠。其专有的激光传输源提供高端沉积速率，以实现对整个扫描范围内光束能量和方向的精确控制。多栅格加速部分提供了稳定线性的植入物轮廓，从而保证了高品质的植入物。综合设施控制系统使整个植入过程的编程控制变得简单无缝。其高精度光束电流监测每个植入物具有自动晶圆保持功能，有助于减少过程的可变性。该GSD3-LE还具有光束诊断功能,使工程师和技术人员能够观察、研究和分析光束在中间过程以及植入过程开始/停止时的确切行为。综上所述，SEN NV GSDIII-LE是一种先进的离子植入器和显示器，适用于高精度、低水平的植入过程。其先进的技术和设计使其能够实现精确的光束控制和高精度的植入物轮廓。凭借其集成的设施控制系统和光束诊断功能，为植入物工艺的开发和生产提供了可靠易用的平台。
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