二手 ULVAC IDZ-8001 #9284131 待售

ULVAC IDZ-8001 Ion Implanter&Monitor是一种先进的离子植入设备，旨在向各种底物传递精确的离子流度。该系统采用高分辨率、超精密的光束电流和电压控制单元，对光束参数进行连续最优控制，以提高植入质量。强大的IDZ-8001平台由离子源和光束控制单元两大要素组成。离子源旨在利用现有的最先进的电离方法，为稀有和稀有气体离子提供有效和可靠的电离。离子源还具有集成中和室，以确保离子注入的最大效率。离子源中使用的先进电离方法允许优化各种植入过程参数，提供更大的过程灵活性和一致性。ULVAC IDZ-8001的光束控制单元为植入过程中的光束参数提供了准确、稳定的监控。其先进的控制算法确保了有效的植入，并最大限度地减少了错误的影响。该机配备了强大灵活的联锁工具。此资产允许用户保护细腻的基板免受意外植入条件的损害。此外，互锁模型还具有随时监测离子流度和能量的能力，以最大限度地提高植入精度。IDZ-8001还使用了独特的高精度光束存在检测器来获得最佳的光束精度。该探测器能够以亚微米分辨率检测X和Y方向上离子束的存在。光束存在检测器使设备能够快速准确地调整光束参数，以实现物理和电气形式的最佳植入。ULVAC IDZ-8001是一种功能极其强大且精确的离子植入器和显示器,专为要求苛刻的应用而设计.其强大的离子源、光束控制单元、互锁系统和光束存在检测器确保了植入过程中的最大效率、准确性和灵活性。先进的控制算法和互锁单元确保了精细基板的最大安全性，提供了无与伦比的植入精度。