二手 ULVAC IDZ-8801 #154974 待售

ULVAC IDZ-8801是一种离子植入器和监控设备.它是一种多功能离子植入器，可用于植入各种离子，如硼、磷、砷、浓铵和铝。该系统具有大植入室和隔板单元，以减少电荷污染。这样就可以在厚度均匀性和剂量设置方面实现高度精确和精确的离子植入。设计用于处理质量范围高达56 amu的重离子型植入物。植入器还具有位于植入物室的直视光学机器，便于实时控制植入物轮廓。IDZ-8801具有内置的监控工具，可以实时测量植入物剂量、均匀性和轮廓。这一资产包括一个高度敏感的X射线荧光探测器，用于测量离子产生的二次电子，以及一个法拉第杯来测量束电流，这对于提供精确的剂量控制至关重要。它还提供了高放大倍率发射离子的视觉图像，用于监测植入物位置性能和相对剂量分布，确保植入物在规范范围内进行。ULVAC IDZ-8801先进的PFG（等离子体聚焦离子枪）光学器件使用户能够修改植入物轮廓,以更好地控制其目标形状。该模型得益于低植入角和计算机化的阻断设备，从而最大限度地提高了服务的产量。离子植入器和监控系统还具有先进的集成运行结束监控器，可确保植入物符合规格，优化设备的吞吐量和产量。此外,IDZ-8801还配备了电子玻璃探测器来检测缺陷.电子玻璃检测器使用电子束来检测高分辨率和精确度的缺陷。ULVAC IDZ-8801在磁带放置和植入物轮廓选择方面提供了高度的灵活性,从而对最终产品提供了更大的控制。该机还具有简单的软件操作,便于机器操作和远程控制.此外，该工具还提供全面的安全功能，包括安全导轨和真空联锁。此外，额外的安全功能，如警报门和外壳保护有助于确保最高级别的安全。