二手 ULVAC IH-860 #293763345 待售

ULVAC IH-860是一种高性能、计算机控制的离子植入器，设计用于半导体制造中高效、精确的离子植入。这台先进的设备能够植入硼、磷、砷等离子种类，打造出多种优质半导体器件。它具有高达10μA的高电流能力和极低光束能量的70eV至90eV，非常适合植入高精度超小型半导体几何形状。该系统还配备了高分辨率数字成像单元，可实现精确植入物放置和均匀性控制。此外，IH-860还配备了先进的多通道离子束电流监控器和高度精密的控制和反馈机器，可以精确控制植入物参数。该工具还具有高级流程监控和数据采集功能,可提供对流程优化有用的信息。总体而言，ULVAC IH-860是一种先进的离子植入器和监控器，能够在高电流水平下以高精度和高精度地植入离子。其先进的计算机控制资产和高分辨率成像系统可实现植入物的精确、均匀定位，而多通道离子束电流监控器和复杂的控制和反馈模型可提供植入物参数的精确控制。此外，工艺监测和数据采集功能允许工艺优化，确保生产高质量的半导体器件。