二手 VARIAN 1000 #9404414 待售

VARIAN 1000是一种用于半导体制造的离子植入器和监控器。用于将离子物种植入硅片基板表面，创造所需的电特性。1000是一种辐射、直流和脉冲离子植入器，具有较大的过程腔和多级加速度。VARIAN 1000中使用的离子源属于Frank-Bodesheim型，可以将杂质引入最小线宽为1um的晶圆中。在交付过程中，梁被操纵和成形；1000支持对齐扫描、离子调制、能量调制和总离子电流都在同一晶圆运行中。VARIAN 1000设计用于提供远光束电流、高电荷质量比以及在高达300 °C的温度下长期运行。植入器具有低温冷却设备，可以有效地操作源和目标；这有助于保护晶片材料免受热损坏。利用用户友好的设置、控制和数据收集工具，通过基于Windows的界面监控其计算机控制的流程。采用的图像分析和控制系统允许实时监测过程结果，获得的图像最大分辨率达到0.1微米。1000还包括一个光束数字监测单元，用于精确测量光束电流、位置和长宽比。这是由双发射监测仪完成的，监测仪放置在全波束重迭点和最小波束强度的位置。总体而言，VARIAN 1000是一款先进的离子植入器和显示器，以其高清摄像机和广泛的数据收集能力，适合工业规模生产。它可以节省公司在芯片制造过程中的时间和资源,而不会牺牲质量或性能。