二手 VARIAN 108578002 #149059 待售

VARIAN 108578002是一种高性能、高精度的植入器和显示器,用于处理复杂的半导体晶片.先进的离子源技术提高了光束电流稳定性，提供了更大的灵活性，保证了可重复运行。它是高度自动化的真空设备,可确保最小的停机时间和较低的操作成本。它具有创新性的离子源设计和轻量级结构,减少了系统尺寸,提高了可维护性.108578002离子植入器设计精确度和可靠性，为处理各种植入操作提供了多种特性和功能。它正在申请专利的360度旋转离子源通过提供植入物操作的完全旋转，可以提供灵活性和增加覆盖率。它具有多个独立的离子源和光束成形光学器件，使设备对植入物参数有更好的控制，并实现了工艺优化。VARIAN 108578002离子植入器还具有激光放电监测（LDM）机.这种先进的监测工具利用激光光电传感器对离子束进行精确的感测。它允许对植入过程进行精确控制，并提供包括总剂量、能量扩散、束电流和方向在内的植入参数的精确反馈。108578002还包括高级设备控制,为用户提供易于使用的界面。它提供了对植入物参数的完全控制，包括速率、能量扩散、剂量、束角和峰值电流。此外,它还提供了流程日志记录功能,允许用户保存和调用历史记录数据,以改进流程控制和可追踪性。它具有收集颗粒的智能废物管理资产，确保所有进入模型的材料都得到适当的处理和处理。VARIAN 108578002还包括一个独特的粒子密封设备，利用先进的吸收、过滤和密封技术来减少粒子扩散和污染。108578002是处理高端半导体结构的基本系统,可提供最佳性能、精度和精度。它的高级设计和高级功能为用户提供了一个可靠的植入器单元，可以确保以准确和可重复性的方式实施关键过程。