二手 VARIAN 120-10 #293652761 待售

VARIAN 120-10
ID: 293652761
晶圆大小: 5"
High current ion implanter, 5".
VARIAN 120-10是一种先进的离子植入器和监控设备,用于实现对半导体器件中所需电荷分布的精确控制。该植入器具有光滑稳定的操作和高精度的离子束。集成监视器可以精确控制光束电流和植入均匀性。此模型具有多种特性,使其成为芯片制造商在工艺准确性和可重复性方面的理想工具。它包括一个允许极其精确控制的单轴系统。该机器具有最先进的数字信号处理器,可确保范围的准确和稳定定义,以及先进的诊断和安全单元。这台机器确保不再植入合适的离子。此外,它还具有先进的离轴扫描功能和可提高流程重复性的离线棘轮腔室。该机器利用高度准直的质子束,能够生产高精度的高均匀植入物,这在业界是无与伦比的。使用数字信号处理器时,光束电流可控制到最小电流0.01mA和最大10mA。再者,光束能够产生多种角度,并具有广泛的植入深度,以及优化的颗粒范围,这保证了每个装置在整个批次中都具有相同的特性。120-10还具有先进的用户界面,包括内置的诊断和安全功能。这使用户能够监视该工具并确保正常运行。此外,用户界面还包括一个实时反馈资产,可帮助用户管理植入过程并在必要时进行更改。该模型还包括一系列软件选项,这些选项能够优化流程,以及确保每次运行都以所需的植入均匀性完成的精度模式。总体而言,VARIAN 120-10是一款先进的离子植入器和监控设备,具有多种功能,旨在帮助制造商获得均匀准确的植入物。它的集成监视器提供了对植入过程的精确控制,同时其用户界面确保了操作的简便性和最大的过程效率。寻找能改善芯片制造工艺的先进系统的制造商应考虑120-10。
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