二手 VARIAN 120-10 #9068892 待售

VARIAN 120-10离子植入器和监控器是一种广泛的离子植入过程的通用、可靠的解决方桉。它具有独特的振动进料设备，确保在植入物样品上均匀的离子分布和精确的剂量输送精度。自校准离子源和光束光学器件的设计旨在优化重元素的植入，并覆盖高达120 keV的能量范围。监控模块提供全方位电源，以适应各种植入参数，包括能量、光束电流、光束位移和植入时间。还配备了远程诊断控制系统，对所有关键参数进行精确监控。120-10还具有一个集成工艺单元，可用于调节气体压力、温度、背景电压和磁场，用于不同的植入操作。这台机器的设计目的是提高整个过程的效率和提高吞吐量。此外，该机还配备了一个光束电流监视器和轮廓监视器工具，有助于对准和优化植入过程。VARIAN 120-10还具有几个安全功能，可以保护用户，确保操作过程中的安全。它配备了真空互锁资产，可以用来关闭梁，保护梁线、屏蔽和其他部件免受超压或快速失控的条件影响。此外,机器还包括紧急情况下的紧急停止按钮.总体而言，120-10离子植入器和监测器是任何离子植入过程的可靠解决方桉。其多功能的设计和集成的安全特性为用户提供了可靠操作的信心。该机器的设计涵盖了高达120 keV的各种能量，确保了准确的植入结果。再者，其调节气体压力、温度、背景电压和磁场的能力可以优化植入过程。