二手 VARIAN 120-10 #9144961 待售

VARIAN 120-10
ID: 9144961
晶圆大小: 5"
High currently ion implanter, 5".
VARIAN 120-10是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.开发的一种精密离子植入器和显示器。它是同类产品中第一个为电离植入过程提供自动剂量控制和高剂量率灵敏度的产品。它具有坚固的设计和直观的图形界面,易于使用。120-10由两个截然不同的部分组成:植入器和监视器。植入器可以控制和精确地将植入的离子物种沉积到半导体基质中。它可以处理植入物能量的基质到基质的变化,并且可以处理广泛的源参数。该显示器旨在确保植入器在植入过程中以最佳效率运行。这包括监测和控制剂量率、离子能量和倾斜。VARIAN 120-10提供了多种功能,旨在让离子植入操作变得简单高效。它具有可配置的多区晶圆级,容积范围为1.5毫米x 2.5毫米。这使得离子分布在整个底物中非常均匀.它还具有公差图和可调节的光束对准有助于实现理想的均匀性。120-10具有直观的图形界面,旨在使用户能够轻松修改植入参数和查看梁轮廓。各种校准选项可用于设备的高级控制。VARIAN 120-10还具有先进的安全功能,旨在保护系统免受极端温度和电涌的影响。此外,设备有一个紧急停止按钮,允许用户在必要时立即停止任何植入过程。它带有各种程序,可用于评估离子分布和确定高级工艺的临界电压。这台机器经过认证,符合工业和实验室设置的要求。总体而言,120-10是一种功能强大且可靠的离子植入工具。它非常适合工业和实验室应用,使用户能够方便准确地将离子植入半导体基板。直观的图形界面和健壮的设计使这项资产成为任何寻求可靠离子植入的人的绝佳选择。此外,先进的安全特性和广泛的校准选项为用户提供了一种放心的心态,即这种型号可以安全高效地使用。
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