二手 VARIAN 120-10 #9269114 待售

VARIAN 120-10是一种最先进的电弧和溅射离子植入器和监视器，允许在样品表面上精确控制和选择性放置材料。这台机器使用稳定、健壮的离子源，具有精确的重复性和持续的调谐能力，用于工艺优化。凭借其先进的微米级控制，120-10可以利用离子束将沉积材料精确布置。除了精确控制光束设定点和植入条件外，VARIAN 120-10还提供详细的工艺监控能力。它可以被编程为监测植入过程的浓度、速率和能量，以确保关键参数保持在范围内，并提供关于沉积如何进行的反馈。设备配备了高灵敏度能量分析仪，使用户可以测量和控制植入材料的能量并确定其成分，同时还可以检测工艺样品中的杂质和污染物。系统中的八通道直读离子电流监测器非常适合保持所有植入物的准确性。120-10的特点是模块化腔室设计允许在基材尺寸和要植入的材料类型方面最大的灵活性。这得到了广泛的可用离子源的进一步支持，包括气动、三极管和多枪，所有这些都为不同的应用提供了不同的选择。这允许用户为其特定进程选择最佳来源。VARIAN 120-10专为多功能性、模块化和用户友好性而设计。它提供了一个直观的图形界面，允许用户实时监控他们的植入过程。该单元还具有高级工艺配方和内置的专家机器，使其能够提供过程控制见解。此工具强大的界面和报告功能使其成为流程工程师和质量控制专业人员的宝贵工具。总体而言，120-10是一种先进、可靠的离子植入器和监控器，具有精确的控制、可重复性和过程监控。它的多功能性和先进的能力使其成为半导体和电子行业专业人士的宝贵工具。