二手 VARIAN 120XP #9226120 待售

VARIAN 120XP
ID: 9226120
晶圆大小: 6"
High current ion implanters, 6"
VARIAN 120XP是一种离子植入器和显示器,设计用于半导体生产环境中的最大性能和准确性。该设备是VARIAN 110XP离子植入器的高级版本。它可以通过两个独立的振动束系统提供均匀一致的离子注入。VARIAN 120 XP是一个可靠且具成本效益的系统,配备了两条带三个加速器的模块化光束线(MBL)、一个铲子平台、两个扫描磁铁和集成的射频偏置源。它能够以高达1,000伏/秒的速度植入,并能容纳植入半导体晶片和直径达200毫米的基板。120XP有一个直观的操作菜单单元,并使用集成的微处理器控制来提供对植入和监控系统的精确和可靠的控制。该机器配备了自动光束对准工具和功能安全资产,并带有警报和联锁装置。120 XP的光束电流被实时监控,以验证能量和电流均匀性。该模型还提供了必要的外部冷却要求、稳定气体的供应以及额外的支持电子设备,以提高植入控制的稳定性。该设备旨在为用户提供最多600个并发植入物的参数扫描和能量扫描的最大灵活性。它还具有先进的计算机界面和图形功能,可自动分析和绘制参数扫描数据。此外,VARIAN 120XP内置了环境传感器,使其能够自动调整植入参数,以准确应对环境变化,如脱气或污染物的存在。这样可以节省用户在生产线上的时间和精力。总而言之,VARIAN 120 XP是一种可靠且经济高效的设备,专为最优质的生产植入物和更高的生产产量而设计。凭借其全面的设计、易用性和先进的监控能力,它势必成为任何现代化生产设施的重要组成部分。
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