二手 VARIAN 1500 #9404415 待售

VARIAN 1500是一款高电压、高电流、高分辨率的离子植入器和显示器设备，专为最大、最苛刻的离子植入需求而设计。1500能达到高达7.51014 离子/cm2的剂量，提供广泛的剂量范围，以及高植入精度和可重复性。它有一个16路晶片卡盘，可以与一个4英寸的Quad Chuck结合，以实现高达8英寸的晶片植入。它具有很大面积的均匀电子束，以避免污染和最小化能降低剂量均匀性的束变窄。VARIAN 1500包含了多项功能来提升其能力。这包括允许用户控制、监视和诊断系统的数据采集软件。晶圆位置和旋转的实时监控确保了植入物的准确以及储存和执行多达1024个配方的能力。它有一个用于提高电导率的集成平面化模块，以及一个用于优化晶圆边缘修剪的有源芯片输出制导单元。监视器机器还为用户在植入过程中提供了样品的清晰视图，能够在图像顶部画出线条或圆圈来精确引导光束。1500可以与选择的VARIAN辅助系统集成，以进一步提升其运行。这包括实时反馈工具,它可以比标准系统更好地检测和校正植入过程中的光束漂移,Focus Tuning Asset,它允许用户微调光束边缘的焦点,以及污染监控模型,以提高真空设备性能。它还可以与VARIAN剂量校正器系统集成，以确保无论操作条件如何都能准确的剂量递送。总体而言，VARIAN 1500是大型离子植入需求的绝佳选择。其强大的光束、大剂量范围和集成辅助系统的范围使其非常适合用于先进半导体材料的生产、研究和开发。它易于使用和灵活的配置确保任何离子植入任务的最佳性能。