二手 VARIAN 1510 #9026280 待售

VARIAN 1510离子植入器是一种高精度、高性能的设备，主要用于半导体工业中，用于将离子植入半导体等材料上，以改变其电性能。它也被用于保险业和生物化学等其他工业应用。1510提供高级离子植入性能；采用多种植入角和多种电流密度，设计用于高精度地植入离子。其先进的软件和硬件系统提供精确的植入质量和吞吐量。植入操作参数存储在XML文件中,允许快速轻松地进行设置更改。紧急停止按钮、互锁和安全图标为用户提供了额外的保护。VARIAN 1510由离子植入器模块、离子质量监测器、高压馈线、负载锁定单元和多喷头构成。植入器模块产生高压光束，将离子植入晶圆中。质量监测器收集离子并分析离子相对于主集合点的能量和质量。高压馈线提供植入离子所需的束电流。负载锁装置的设计目的是在腔室内保持指定的大气，并防止外界污染。多喷头最多可编程四根独立的光束。1510离子植入器和监控器是在各种工业应用中植入离子的可靠且经济高效的解决方桉。其精确度和准确性确保了所需的结果得以实现。其用户友好的界面有助于最小化设置时间并使操作更轻松。VARIAN 1510的高级安全功能有助于保护用户免受与离子植入相关的危害。