二手 VARIAN 160XP #9130946 待售

VARIAN 160XP是一种高性能的离子植入器和显示器，非常适合半导体制造中的大容量应用。它利用溷合氮化硅束技术，确保在晶圆基板中植入离子时的最大精度和粒子控制。VARIAN 160 XP利用实时闭环光束控制系统，确保植入过程中的质量和准确性。这个系统监视晶圆每一次单独拍摄的光束轮廓、电荷状态、光束电流和能量，并且将改变参数是在植入周期中保持精度所必需的。160XP可以处理直径在100至400mm之间的样品基板，并且可以编程为同时在多个基板上进行高通量植入处理。使用介质电流植入器,它能够提供高达4.5x1012离子/平方厘米/秒的光束通量速率,并具有精确的控制和精度。其广泛的光束能量设置允许同时植入浅层底物和较重的掺杂剂。光束技术效率高，节省了大量成本，提高了光束的一致性和可靠性。160 XP还提供了一系列的监控元件，如粒子成像、光束电流测量、光束能量监控器和基板温度控制。它还具有用于温度和减速电压读数的数字显示功能。此外,VARIAN 160XP还具有故障安全系统,可防止错误的光束控制或可能导致错误植入结果的光束电流变化。总体而言，VARIAN 160 XP是一种先进的离子植入器和监测器，可提供准确、精确和可靠的植入结果。它非常适合半导体制造中的批量生产应用，其监测能力确保了准确的结果和较少的缺陷。由于其高效的光束技术,160XP可以为任何生产线节省成本并提高性能。