二手 VARIAN 160XP #9143121 待售

VARIAN 160XP是一种离子植入器和监控设备，用于将各种材料的离子植入基材中。该系统能够将锂、硼、磷、砷等材料植入硅、砷-砷等材料的底物中。这个单元是高剂量植入器，可以以高达450K 离子/cm^ 2/sec的剂量速率植入。可以达到的最大通量（离子注入总量）为6.5E13 离子/cm^2。该机还可以用其光束控制工具控制离子束的布局，该工具由晶圆传输资产和光束调节模型组成。晶圆传输设备使用固定的离子源，然后由光束调节系统移动和旋转。VARIAN 160 XP上的光束调节单元可以旋转到+-50度,并且可以在距光源40厘米的距离内聚焦和成形光束。除了植入，机器还包括几个监控系统，可以用来监控植入过程和植入材料的质量。该工具包括一系列探测器，如深度分辨率高达6.0 nm的光电二极管阵列，用于离子电流测量的法拉第杯，以及用于扩散系数测量的二次离子质谱仪（SIMS）。所有这些探测器都可以用来保证高质量的植入。160XP还包括一个用户友好的界面，用户可以方便地配置资产并设置各种参数，以优化不同基材和离子类型的植入参数。该模型还包括一份记录充分的校准和维护手册，以确保设备在其整个使用寿命期间正常运行。总之，160 XP是需要高质量离子植入系统的用户的绝佳选择。它能够提供高达450K 离子/cm^2/秒的植入剂量率，其植入能力可以很容易地针对不同的底物材料和离子类型进行调整和优化。它包括一系列用于监测植入材料的植入和扩散系数的探测器，其用户友好的界面允许快速配置单元。因此，VARIAN 160XP对于需要可靠和高质量离子植入器和监控器的用户来说是一个理想的选择。