二手 VARIAN 160XP #9382645 待售

VARIAN 160XP
ID: 9382645
优质的: 1989
High current implanter (4) CTI-CRYOGENICS Compressors CTI-CRYOGENICS Chamber cryo pump EDWARDS Source dry pump EDWARDS Beamline dry pump CTI-CRYOGENICS Beamline cryo pump VECTOR TECHNOLOGY Scrubber End station Power supply: 208 VAC, (5) Wires, 3-Phase 1989 vintage.
VARIAN 160XP是一种用于半导体材料加工的专用离子植入器和监控器.它允许精确控制植入物剂量和使用的离子类型。它能够以优异的分辨率和精确度将各种离子植入半导体材料中。VARIAN 160 XP提供了可变范围的光束强度和能量设置,用于精确控制和一致的离子植入。它具有独特的双光束检测器,能够同时测量光束电流和样品位置。这为所有植入物参数的控制和监测提供了方便.该单元对植入物的总能量和剂量提供准确而全面的测量。160XP还采用了三维计算机控制程序,为精确植入提供了更广泛的选择。这让使用者可以轻易地对诸如束电流、离子类型和螺距等参数进行变更,以快速改变植入。此外,160 XP有一个内置的自动控制用于最佳植入参数,这可以根据所需的应用进行调整。VARIAN 160XP具有易于使用的交互式图形用户界面,非常适合广泛的植入应用,从基本的氧化物植入物到复杂的复合半导体植入物。它具有内置光束电流和剂量监测仪等综合诊断功能,使植入物参数和植入物质量分析比以往任何时候都容易。VARIAN 160 XP能够在单个电子束下执行最多三个植入物。其用途广泛的设计也让它被整合到有多个离子源的植入系统中。该装置也是灵活的,允许植入到多个样品与不同的植入条件。160XP凭借其先进的电子组件和先进的软件算法,可以实现非常高的准确性和精确度。它还具有快速的响应时间,使得它更有效地监测植入条件。160 XP是高产植入以及需要精确控制植入参数的复杂设备的理想选择。
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