二手 VARIAN 160XP #96723 待售
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ID: 96723
High current implanter
Standard Configuration (manual wafer loading)
(Qty 2) Sources
(Qty 2) Vaporizers
Spare defining plate
Spare manipulator
Dry Pump for Source RP Leybold D50
Edwards 200 for E/S
Disk 4" / 6" configured
4" and 6" available (spares)
Implant Monitor Software (150 recipes)
Record of resistivity and particle on request
Gasbox 4 lines / 3 in use (Argon / Boron / Phos)
Warehoused
1985 vintage.
VARIAN 160XP是一种离子植入器和监控器,广泛应用于半导体工业。VARIAN 160 XP是一种高度先进且可靠的植入器,可用于多种应用。它具有先进的脉冲功率输送设备,对光束电流和剂量以及精确的剂量均匀性提供了极好的控制。此外,160XP还有一个自动摆动系统,有助于为沉积应用程序创建更均匀的层厚度。160 XP还具有许多安全功能,例如先进的粒子探测器、光束电流限制器和碰撞保护单元。这确保了机器能够安全有效地运行,即使在使用高能粒子的应用中也是如此。VARIAN 160XP还配备了最先进的监视器,可跟踪光束参数、电流稳定性和操作的其他关键方面,确保该过程尽可能高效和准确。这款显示器与脉冲供电机相结合,使VARIAN 160 XP提供无与伦比的剂量控制和精度。160XP使用先进的离子光学器件,例如射频透镜或静电偏转器来控制光束轮廓,并将离子引导到所需的目标。其集成的源磁体允许光束被精确地引导,而其高分辨率成像工具确保只击中所需的目标。160 XP除了它的诸多特性外,在设计上也考虑到了方便。它操作极易,用户界面简单明了。VARIAN 160XP还具有广泛的诊断工具和远程性能监控功能,所有这些都进一步简化了其操作。VARIAN 160 XP是一种坚固可靠的离子植入器和监视器,具有极好的精度和准确性。其先进的特点和人性化的设计,使其成为各种沉积和梁应用的绝佳选择,其众多的安全特性保证了它可以放心地操作。
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