二手 VARIAN 250 Plus #293672534 待售
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VARIAN 250 Plus是一款先进的离子植入器和显示器设备,设计用于半导体器件制造过程。它具有较高的剂量测量精度和广泛的可调参数,可精确控制植入。该系统能够植入多种离子和材料,包括硼、砷和磷离子。250 Plus利用静电加速器单元,该单元具有高能束线和单轴扫描。这项技术确保每次植入都精确地集中在晶圆的特定区域,确保精确的剂量测量和均匀的植入深度。该机具有高压、离轴三极束聚焦功能,可减少潜在的粒子散射,确保均匀输送剂量。该工具还配备了先进的数字离子传感器,可即时测量单个离子物种的密度。该资产能够与一系列基材一起操作,包括苏打石灰玻璃、的、的、的、的、的氮化钛。此外,该型号具有可调离子能级,从几千电子伏特到几百千电子伏特。该设备还可以用于单个周期内的多个植入步骤。该系统还配备了高速计算机控制的监控单元,用于测量被监控离子的电流和电压,从而能够精确监控和控制植入条件。VARIAN 250 Plus监视器还允许精确控制光束电流、能量和倾斜角,植入电流和电压可在大范围内调节。此外,显示器还具有改进的数字接口,允许改进操作员界面和通信效率。250 Plus是一款可靠、先进的植入机,可用于多种设备制造过程。具有高剂量测量精度、可调参数、多离子植入物、高速监控工具等特点。该资产是高效植入和可靠设备制造的可靠选择。
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