二手 VARIAN 300XP #293829234 待售
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ID: 293829234
晶圆大小: 5"-6"
Ion implanter, 5"-6"
Wheel
Wafer tilt: 7
Source: Beam
Extraction system: Copper pipe/bellow
Gases: BF3, Ar, PH3
SDS Gas box: High pressure
Maximum implantation energy: 120 Kev
Maximum Extraction voltage: 80 Kev
Cooling water pump
(2) Trays
AMU
Beamline column
Mechanical clamp
8 x 3 Cryo.
VARIAN 300XP是由VARIAN, Inc开发和制造的离子植入器和显示器。广泛应用于半导体工业中，用于在薄膜材料中植入离子。这种离子植入器和显示器被设计成极其可靠和准确。VARIAN 300 XP采用高压和动能相结合的方式实现精确和受控的离子植入。300XP将离子加速到高速，并以精确控制的剂量和角度注入薄膜。这样可以使植入的离子分布更加平滑和均匀，从而得到更可靠和准确的结果。300 XP使用独特的差分泵送技术对整个工作室内进行真空处理，创造了一个清洁一致的环境，可以在其中植入离子。这降低了污染的风险，并确保了准确和一致的结果。VARIAN 300XP还具有一个集成的粒子检测和接收系统，允许在植入过程中立即和基于SPC的终点拒绝粒子。这使用户可以更好地控制植入过程,并有助于确保获得最高质量的结果。VARIAN 300 XP还具有自动晶圆定位系统，可实现精确的晶圆定位和放置。这减少了植入的时间和成本，提高了每次植入的准确性。300XP设计易于使用和维护。这使得它对于各种应用程序都具有很高的效率和经济效益。能够产生符合最严格要求的高质量离子植入效果。因此，它是许多半导体制造商最值得信赖和可靠的选择。
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