二手 VARIAN 300XP #293830781 待售

VARIAN 300XP是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates设计制造的高精度离子植入器和显示器。设计用于半导体制造和研发应用。VARIAN 300 XP是一款高可靠性、高性能的植入器，提供出色的剂量均匀性、稳定性和最大束电流。300XP通过将一束离子束转移到目标材料而起作用。离子被高压电源加速，产生一束具有指定能量和剂量速率的离子束。然后在目标材料表面扫描离子束，将离子植入材料中。光束可以以直线（直线）、光栅、螺旋或来回模式移动,扫描区域由目标大小、任何物理掩码模式或正在使用的软件程序确定。还可以配置300 XP,以提供10-150 keV的各种离子能量,具体取决于所需的植入深度。光束电流可以在5-50 mA的范围内调节，以达到均匀的剂量分布，或适应目标材料吸收率的变化。VARIAN 300XP还采用了多种其他离子束修饰技术，如质量能量结合和能谱扫描，这使得得到的剂量更加均匀。VARIAN 300 XP包括一个先进的监控系统，它使用感应电极来跟踪在植入过程中离子束的确切位置、电压和电流。这个监控系统在视频监视器上向操作员提供实时的视觉反馈，这样就可以不断检查光束位置和光束电流输出的精确坐标。监测系统还确保在植入过程中使用的剂量率始终保持在可接受的限度内。300XP是一种可靠、高精度的离子植入器，具有极高的均匀性、稳定性和最大的光束电流。这使得300 XP成为半导体制造和研发应用的理想选择。