二手 VARIAN 300XP #9161390 待售
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VARIAN 300XP是一种粒子植入器和监控器,能够以极精确的控制将离子植入半导体基板中。它具有广泛的应用,包括微芯片的制造、陶瓷和金属表面的蚀刻以及薄膜涂层的生产。VARIAN 300 XP能够以不同的能量和剂量植入不同类型的离子,使其能够用于各种各样的应用。300XP是一种物理上紧凑的设备,包括粒子加速管、目标室和具有相关测量和控制能力的植入器头。粒子加速度管设计用来将一束离子束加速到预定的能级。光束一旦加速,就利用不对称磁场聚焦,在目标腔内击中目标。离子的剂量和能量大小可以精确调整,剂量率也可以根据应用的要求进行调整。300 XP的植入物头负责将颗粒束引向标本。它由一系列静电透镜组成,控制离子束的形状和强度。此外,植入物头还包括显微镜和光束剖面仪,允许植入时更精确的定位。头部上游和下游区域的探测器能够精确监测粒子束。一旦离子的剂量速率和能量被确定,植入就可以开始了。剂量通过装置上的嵌入式控制器设置,并将样本插入系统。控制器对送入样品的剂量提供精确的控制,植入物头控制光束的位置。植入过程中,光束由探测器实时监控,提供过程反馈。在植入过程结束时,将标本从单位中取出,并测量和分析交付给它的剂量,以确定植入的质量。一旦植入成功完成,VARIAN 300XP可用于进一步的植入后过程,如带状和退火操作。VARIAN 300 XP是一种可靠、通用的植入器和监控器,能够实现高精度和高精度。它的模块化设计使它能够在广泛的应用中轻松使用,提供了高度的控制和灵活性。300XP具有广泛的特点和可靠的性能,是研究人员和科学家寻求精确高效地进行离子植入操作的理想选择。
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