二手 VARIAN 300XP #9182165 待售
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VARIAN 300XP是一种离子植入器和显示器,设计用于进行高精度离子植入。这种装置非常适合制造超小型结构和其他纳米结构,是半导体制造和材料科学中使用的通用工具。这种先进的植入器和显示器是半导体加工设备供应商VARIAN Semiconductor Equipment Associates的产品。它提供了独特的性能和灵活性的组合,允许用户植入各种各样的材料,并将它们纳入结构的高精度。VARIAN 300 XP可以说是一种单室、平行板静电加速器,能够植入能量在50 keV到1 MeV之间的离子。它设有一个光束进入室、一个光束辐照室和几个外围系统。光束进入室设有离子源保持光束线光学器件、离子注射器和两个光束偏转系统。光束辐照室配有可调光源、压控室和专门的光学器件,用于定位离子束。它还装有一个源监视器、一个集电极探测器、一个离子监视器和一个法拉第杯来测量光束中的电荷。300XP为用户提供了前所未有的离子植入精度。其先进的光束凋刻技术可用于创建精确的形状和结构,其频率控制的离子注入器确保离子在给定的空间中均匀分布。植入器还可以配备源监视器摄像头,用于拍摄离子束形成和定位时的照片,用于检查其对准和稳定性。300 XP还提供了在调整光束轮廓和能量设置方面的灵活性。用户可以轻松修改梁的形状、尺寸和光斑轮廓,而无需每次重新校准。这与压力控制室和专用光学器件相结合,使其成为生产尺寸均匀的纳米结构的有效工具。这种离子植入器和监视器非常适合那些寻找一个高度精确和可靠的工具,在各种材料的离子植入。其先进的光束凋刻技术和可调节的设置为用户提供了在不影响精度的情况下创建复杂纳米结构的灵活性。VARIAN 300XP是一种经济高效的解决方桉,用于生产具有精确和可重复性的纳米结构。
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