二手 VARIAN 300XP #9236850 待售

VARIAN 300XP离子植入器是一种用于将离子植入半导体晶片的装置。VARIAN 300 XP是一种生产级植入系统，能够将Ga和As离子都植入半导体晶圆中。离子植入器和监视器使用连续流动的离子源将离子植入晶片，然后由离子植入器和监视器监控。300XP能够以特定能量传递离子，其能量范围从5 keV到10 MeV。最小光束光斑尺寸1.5mm，最大光束光斑尺寸15mm。此外，它还具有用于蚀刻薄膜的等离子体源和用于沉积金属膜的真空热蒸发源。300 XP具有真空监控器和控制器,用于监控植入过程中使用的气体的温度和压力,并确保安全的系统运行。它还有一个能量监测仪来测量离子赋予半导体材料的能量量。VARIAN 300XP可以被编程来改变植入物和电子束参数。这允许用户为他们所需的过程自定义植入。用户还可以设置限流、能量控制等控制参数。VARIAN 300 XP是一种可靠高效的离子植入器.产量好，光束光斑大小一致。其安全特性保证了系统的安全运行，可调参数允许用户根据自己的需要定制植入。