二手 VARIAN 300XP #9302574 待售

VARIAN 300XP是一种用于半导体制造的高精度离子植入器和监控器。它为各种应用提供精确精确的光束控制，包括半导体沉积、离子注入和晶圆清洗。VARIAN 300 XP是一种直流电（DC）源，利用稳定准确的束流来实现高分辨率的离子植入。这样就可以在低背景下将较小的离子注入大大小小的材料中。该设备还可以植入高能离子，比其他植入物具有优势。300XP还具有可变能量离子源，允许可调能量设置，以提供植入材料层所需的精度和可重复性。300 XP能够进行除气、蒸发、溅射和基材蚀刻应用。该系统提供了广泛的材料和离子物种植入广泛的底物类型。该单元具有1.9 μ m的轴上光束扫描位置分辨率,允许将小特征精确地放置在基板上。该机器还具有用于存储数据和算法的数字内存存储。此内存存储允许存储植入过程中使用的参数。此信息可用于帮助优化工厂性能并在应用程序中提供可重复性。VARIAN 300XP配备了一个30英寸的显示器，用于对植入过程进行准确、详细的分析。显示器还包括一个直观的图形用户界面，允许用户快速定位和监控植入操作。该工具还为用户提供了远程监控功能，使用户能够被告知植入中的任何异常，以及从远程位置调整和监控参数的能力。VARIAN 300 XP是一种高度可靠和通用的植入器和监控资产,为各种应用程序提供了高精度和可重复性。它是半导体制造中最流行、最成功的植入系统之一。